@PHDTHESIS{Duez2000, url = " http://www.theses.fr/2000LIL10188", title = "Contribution à l'étude de la nitruration de l'aluminium et du silicium par plasma d'azote en résonance cyclotronique électronique répartie", author = "Duez, Nicolas", year = "2000", pages = "1 vol. (196 p.)", note = "Thèse de doctorat dirigée par Mutel, Brigitte Spectrochimie, molécules, solides, réactivité Lille 1 2000", note = "2000LIL10188", }