Optimisation de la microstéréolithographie par masque dynamique : application à la réalisation de microactionneurs

par Virginie Loubère

Thèse de doctorat en Sciences et techniques

Sous la direction de Serge Corbel.

Soutenue en 2000

à Vandoeuvre-les-Nancy, INPL .


  • Résumé

    Les microtechnologies ont fait apparaître de réels besoins de micro-objets tridimensionnels qui pourront servir de structures de base à des microactionneurs. Ce travail de thèse a permis de concevoir et fabriquer des microactionneurs de type micropinces, par le procédé de microstéréolithographie. La réalisation et l'optimisation d'une machine de microstéréolithographie basée sur une matrice à cristaux liquides comme générateur de masques et une lumière visible non cohérente, ont abouti à la fabrication de démonstrateurs complexes. La caractérisation physico-chimique du matériau utilisé pour la structure polymère de la micropince a permis d'obtenir les résultats suivants : une diminution de la viscosité du mélange photopolymérisable et par conséquent une augmentation de la vitesse de fabrication ; une résolution transversale optimale de 2 x 2 [micro]m2 ; une résolution verticale d'environ 10 [micro] m, limitée par l'épaisseur optique du matériau. L'étude du comportement mécanique des pièces, plus particulièrement du module de Young a montré une rigidité suffisante pour la structure déformable de la micropince. Les micropinces de taille millimétrique réalisées grâce à une technique d'assemblage basée sur l'insertion d'un fil en Alliage à Mémoire de Forme dans une structure en polymère au cours du procédé de microstéréolithographie, permettent une valeur maximale de déplacement d'environ 64 [micro]m et une fréquence de fonctionnement de 0,1 Hz.

  • Titre traduit

    Optimization of the microstereolithography by dynamic-mask : application to the realization of microactuators


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Informations

  • Détails : 1 vol. (199 p.)
  • Annexes : Bibliogr. (88 réf.)

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  • Bibliothèque : Université de Lorraine. Direction de la documentation et de l'édition. BU Ingénieurs.
  • Disponible pour le PEB
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