Couches minces de fluorure de magnesium deposees par procedes d'evaporation pour applications optiques

par LAURIN DUMAS

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Yves Pauleau.

Soutenue en 2000

à l'INP GRENOBLE .

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  • Résumé

    La realisation de couches minces de fluorures, deposees a froid, possedant de bonnes caracteristiques optiques et mecaniques, est un enjeu important pour l'industrie ophtalmique et pour tous les traitements antireflet sur substrats ne supportant pas d'elevation de temperature. Ce travail concerne le depot de couches minces de mgf 2 par evaporation avec ou sans assistance de la croissance des couches par un faisceau d'ions. Il contribue a ameliorer les connaissances sur les interactions entre un faisceau d'ions et une couche mince en cours de croissance, et etablit des correlations entre les parametres de depot et les proprietes physico-chimiques et mecaniques des materiaux deposes. Nous avons montre que le parametre cle gouvernant les effets de l'assistance ionique est la quantite de mouvement normalisee des ions incidents. Les processus fondamentaux determinant la composition, la densite et l'etat de contrainte des couches de mgf 2, ont ete identifies. En particulier, l'influence de la nature et de la reactivite de l'ion (argon, xenon et oxygene) a ete etudiee. L'etude des proprietes optiques des couches met en evidence le role critique de la temperature du substrat pendant l'assistance ionique. Les effets de guerison optique, lors de traitements thermiques et d'expositions a un rayonnement uv, apportent des elements de comprehension sur les mecanismes qui sont a l'origine de l'absorption optique des couches minces de mgf 2 obtenues par technique de depot energetique. L'evaporation assistee par faisceau d'ions ne permet pas de deposer des couches minces de mgf 2 a la fois denses, faiblement contraintes et suffisamment transparentes dans l'uv. Pour optimiser les proprietes physico-chimiques, mecaniques et optiques des couches, un compromis doit etre adopte en fonction de l'application optique.

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Informations

  • Détails : 209 p.
  • Annexes : 212 ref.

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