Correlation entre mode de croissance et proprietes de transport du silicium microcristallin, etablie par reflectrometrie micro-onde et ellipsometrie

par Romain Brénot

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de REGIS VANDERHAGHEN.

Soutenue en 2000

à l'ECOLE POLYTECHNIQUE .

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  • Résumé

    Ce memoire de these se fixe pour objectif d'etudier un semi-conducteur heterogene depose en couches minces, le silicium microcristallin hydrogene. Cette etude a ete rendue possible par le developpement d'un reacteur de depot par plasma froid, sur lequel ont ete montes des moyens de caracterisation in situ des proprietes optiques (avec un ellipsometre uv-visible) et des proprietes de transport de ce materiau (par des techniques de reflectometrie micro-onde, trmc et dtrmc). Ces techniques originales ont permis d'elaborer un modele de transport qui va a contre-courant des modeles communement admis pour ce materiau, et qui permet d'expliquer les donnees de la litterature. Enfin, de nouvelles voies semblent ouvertes pour l'optimisation du silicium microcristallin, en vue de son utilisation dans des dispositifs tels que les cellules solaires en couches minces et les transistors a effet de champ pour les systemes d'adressage d'ecrans plats.

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Informations

  • Détails : 207 p.
  • Annexes : 68 ref.

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