Synthese de films minces de type superreseau pour la realisation et l'etude de micro-bolometres. Role des interfaces sur la transmission des phonons

par NICOLAS CHEENNE

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de DIDIER ROBBES.

Soutenue en 2000

à Caen .

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  • Résumé

    Ce travail ouvre une nouvelle voie dans la conception des micro-bolometres, en exploitant les proprietes de conduction thermique des interfaces pour reduire la conductance thermique dans les detecteurs, qui conditionne fortement leur sensibilite. Pour cela, des superreseaux a base des composes yba 2cu 3o 7 - et srtio 3 ont ete synthetises par ablation laser pulse, entre le film absorbant du detecteur et le substrat. Ces materiaux sont caracterises structuralement et physiquement, puis utilises pour la fabrication de micro-bolometres. La conductance thermique de ces derniers est mesuree et comparee a celle de micro-bolometres sans superreseau. Nous montrons que l'introduction de vingt interfaces supplementaires dans la structure bolometrique induit une diminution d'un facteur six de sa conductance thermique. La detectivite specifique calculee a partir de ces mesures est d'environ 2. 310 8 cm. Hz/w. Ces valeurs ne sont que le resultat des premiers tests utilisant le decouplage thermique realise par l'introduction des super-reseaux dans les bolometres, ce qui laisse presager de potentielles ameliorations de la sensibilite de nos detecteurs, par optimisation du couplage du rayonnement, notamment a l'aide d'antennes metalliques.

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Informations

  • Détails : 178 p.
  • Annexes : 109 ref.

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  • Bibliothèque : Université de Caen Normandie. Bibliothèque universitaire Sciences - STAPS.
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