Conception et réalisation d'un micro-filtre accordable de type Fabry-Perot intégré sur silicium

par Sylvie Jarjayes

Thèse de doctorat en Sciences pour l'ingénieur

Sous la direction de Michel de Labachelerie.

Soutenue en 2000

à Besançon , en partenariat avec Université de Franche-comté. UFR des sciences et techniques (autre partenaire) .

mots clés

• Télécommunications optiques

Résumé

Le but de cette thèse est la conception, la fabrication et la caractérisation de micro-filtres spectraux accordables, de type "Fabry-Perot", intégrés sur silicium. Ces composants sont utilisés pour deux types d'applications présentés au chapitre I : l'analyse de gaz et les télécommunications optiques. Afin de répondre aux spécifications de cette dernière application, très contraignante en terme de sélectivité, nous proposons l'utilisation d'une cavité optique de grande épaisseur, comportant deux miroirs de forte réflectivité dont l'un est rendu mobile grâce à un actionnement de type électrostatique. Le chapitre II présente les concepts théoriques (en optique, micromécanique et électrostatique) utilisés pour le dimensionnement des composants et l'analyse de leurs caractéristiques opto-mécaniques. Dans le chapitre III, on s'intéresse à la fabrication des filtres Fabry-Perot. La principale difficulté a consisté à réaliser des miroirs mobiles obtenus par adhésion moléculaire. . .

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