TY  - THES
DP  - 
		http://www.theses.fr/2000AIX30021
TI  - Etude par microscopie électronique en transmission et diffraction des rayons X des phénomènes de décollement aux interfaces barrière de diffusion TiN/Ti- diélectrique
AU  - Fares, Lahouari
A3  - Charaï, Ahmed
PY  - 2000
SP  - 73 p
N1  - Thèse de doctorat Sciences des matériaux Aix-Marseille 3 2000
N1  - 2000AIX30021
ER  -