Thèse soutenue

Nanolithographie par microscopies en champ proche
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Auteur / Autrice : Florence Marchi
Direction : Viatcheslav [Slava] Safarov
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Sciences des matériaux
Date : Soutenance en 2000
Etablissement(s) : Aix-Marseille 2
Partenaire(s) de recherche : autre partenaire : Université d'Aix-Marseille II. Faculté des sciences

Mots clés

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