Nanolithographie par microscopies en champ proche
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Auteur / Autrice : | Florence Marchi |
Direction : | Viatcheslav [Slava] Safarov |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Sciences des matériaux |
Date : | Soutenance en 2000 |
Etablissement(s) : | Aix-Marseille 2 |
Partenaire(s) de recherche : | autre partenaire : Université d'Aix-Marseille II. Faculté des sciences |
Mots clés
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