Etude des propriétés de films ultraminces d'oxynitrure de silicium de composition variable par greffage de monocouches organiques super-isolantes

par Nicolas Pic

Thèse de doctorat en Sciences des matériaux

Sous la direction de Alain Glachant.

Soutenue en 2000

à Aix-Marseille 2 , en partenariat avec Université d'Aix-Marseille II. Faculté des sciences (autre partenaire) .


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  • Titre traduit

    Study of the electrical properties of ultrathin oxynitride films with different compositions by means of grafted organic monolayers


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Informations

  • Détails : 158 f.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. f.150-153

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