Synthèse hydrothermale et caractérisation de films minces PZT pour actionneurs

par Papa Amadou Ndiaye

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de Philippe Pernod.

Soutenue en 1999

à Valenciennes .

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  • Résumé

    Ce travail porte sur l'élaboration et la caractérisation de films minces PZT pour micro-actionneurs. Une nouvelle technique de dépôt par synthèse hydrothermale a basse température (180\c) a été développée. Par ailleurs la variation des quantités utilisées de précurseurs permet de contrôler la composition finale du PZT déposé dans la zone morpho tropique. La microscopie électronique à balayage et la diffraction des rayons x ont été systématiquement utilisées pour analyser la structure et la composition des couches. Les microcristaux sont cubiques et adhérent fortement au substrat. L'épaisseur des dépôts est d'environ 10 m âpres 24 heures de dépôt, ce qui est favorable à la réalisation d'actionneurs. Cette méthode permet de déposer le PZT sur des surfaces variées telles des sphères, des tubes, etc. Les coefficients piézoélectriques d 3 1 (1. 6 pm/v) et d 3 3 (120 pm/v) sont détermines par une méthode d'interférométrie hétérodyne. Le trace du cycle d'hystérésis fournit la polarisation rémanente (pr=3 m/cm 2) et le champ coercitif (ec=18. 7 kv/cm).

  • Titre traduit

    Hydrothermal synthesis and characterization of PZT thin films for actuators


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Informations

  • Détails : 1 vol. (149 f.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. f.128-137. Annexes

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  • Bibliothèque : Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis. Service commun de la documentation. Site du Mont Houy.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 904747 TH
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