Elaboration de cibles multicouches par coulage en bande pour la realisation de films minces de type perovskite par pulverisation cathodique

par VALERIE LEFORT

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Denis Remiens.

Soutenue en 1999

à Valenciennes .

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  • Résumé

    Un nouveau type de cibles oxydes est elabore pour deposer des films minces pbtio 3 et pb(zr, ti)o 3 par pulverisation cathodique r. F. Magnetron. Ces cibles multicouches sont constituees de bandes ceramiques obtenues par coulage en bande de type doctor blade. Des bandes monocouches de pbo et de tio 2 et multicouches de (pbo, tio 2, zro 2) sont enroulees a l'etat cru pour constituer respectivement des cibles (pbo, tio 2) et (pbo, zro 2, tio 2) apres diverses etapes de mise en forme : coupe, pressage, deliantage. L'epaisseur des couches mono-oxydes definit une geometrie donnee de la cible et conditionne la composition chimique du film mince depose. Plus particulierement, la geometrie d'une cible est exprimee en terme d'aire erodee de chaque oxyde. Des relations monotones sont etablies entre les aires erodees et la composition du film depose. Ainsi l'estimation de la composition du film mince est possible connaissant la geometrie de la cible. Ces relations peuvent etre etablies quelles que soient les conditions de pulverisation (puissance r. F. , pression du gaz de decharge, duree de pulverisation) et quels que soient les elements mis en commun dans la cible en raison de l'inexistence d'une influence inter - elements. Enfin les cibles multicouches permettent la maitrise du dopage des films minces. L'elaboration des cibles multicouches a necessite : - la maitrise des epaisseurs de bande et la determination d'un domaine de coulage optimal (hauteur de couteau, vitesse de defilement, viscosite de la barbotine) - l'optimisation du coulage en bande multicouches pour lequel les conditions de sechage, la porosite des bandes et le comportement rheologique des barbotines jouent sur l'homogeneite des bandes multicouches - l'optimisation

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Informations

  • Détails : 253 p.
  • Annexes : 179 ref.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis. Service commun de la documentation. Site du Mont Houy.
  • Disponible pour le PEB
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