Croissance par pulvérisation réactive à double faisceau d'ions et par traitement thermique en plasma d'ammoniac de nitrures de zirconium métalliques et semi-transparents ; caractérisations optiques et structurales

par Luc Pichon

Thèse de doctorat en Physique. Sciences des matériaux

Sous la direction de Alain Straboni.

Soutenue en 1999

à Poitiers .

mots clés

• Couches minces -- Thèses et écrits académiques
• Nitruration -- Thèses et écrits académiques
• Nitrures des métaux de transition -- Thèses et écrits académiques
• Diffusion (physique) -- Thèses et écrits académiques
• Ellipsométrie -- Thèses et écrits académiques
• Spectrométrie EXAFS -- Thèses et écrits académiques

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Titre traduit

Growth of metallic and semi-transparent zirconium nitrides by dual ion beam sputtering and thermal treatment in ammoniac plasma. Optical and structural characterisations

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