Croissance par pulvérisation réactive à double faisceau d'ions et par traitement thermique en plasma d'ammoniac de nitrures de zirconium métalliques et semi-transparents ; caractérisations optiques et structurales

par Luc Pichon

Thèse de doctorat en Physique. Sciences des matériaux

Sous la direction de Alain Straboni.

Soutenue en 1999

à Poitiers .

mots clés

• Couches minces
• Nitruration
• Nitrures des métaux de transition
• Diffusion (physique)
• Ellipsométrie
• Spectrométrie EXAFS

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Titre traduit

Growth of metallic and semi-transparent zirconium nitrides by dual ion beam sputtering and thermal treatment in ammoniac plasma. Optical and structural characterisations

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