Etude des fonctions d'asservissement d'un microscope à effet tunnel optique. Application à l'imagerie de caractérisation de composants électroniques nanométriques

par Ari Santoso

Thèse de doctorat en Électronique, optronique et systèmes

Sous la direction de Michel Castagné.

Soutenue en 1999

à Montpellier 2 .


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  • Résumé

    Le microscope a force atomique (afm pour atomic force microscope) et le microscope snom (scanning nearfield optical microscope) permettent d'obtenir respectivement des images de la topographie et du champ proche optique d'une surface. Avant d'appliquer une boucle d'asservissement a un systeme (microscope) il est necessaire d'en caracteriser les differents elements. L'objectif de ce travail est de realiser les commandes (logiciel d'asservissement pid et pi-floue) d'un dispositif permettant d'obtenir simultanement des images afm et pstm.

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  • Détails : 138 f
  • Annexes : Bibliogr.: f. 136-138

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  • Bibliothèque : Bibliothèque interuniversitaire. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 99.MON-124
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