Micro-sondes de champ proche optique pour l'opto-électronique

par Mohamed Benfedda

Thèse de doctorat en Informatique

Sous la direction de Michel Castagné.

Soutenue en 1999

à Montpellier 2 .


  • Résumé

    La microscopie en champ proche optique permet de depasser le critere d'abbe. Les sondes a levier en silicium utilisees en microscopie a force atomique (afm) sont des objets microscopiques capables d'operer en microscopie a effet tunnel optique (pstm). Ces sondes, de forme pyramidale, ne permettent pas l'etude de certains echantillons tres rugueux. Ce manuscrit presente trois etudes. La premiere montre que les sondes pyramidales permettent la conversion des ondes evanescentes en ondes propagatives. Le mecanisme de cette conversion est tres perturbe a fort taux d'humidite (superieur a 30%). La seconde etude decrit et exploite une nouvelle methode, appelee depot induit par faisceau d'electrons (ebid), de fabrication de micro-sondes en aiguilles. Enfin, la derniere etude est consacree a l'exploitation de ces super-sondes en pstm et en afm.


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Informations

  • Détails : 175 p
  • Annexes : Bibliogr.: f. 171-175

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  • Cote : TS 99.MON-68

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