Étude des phénomènes de transfert dans un procédé de micro-électrodéposition

par Christophe Duchanoy

Thèse de doctorat en Sciences et techniques

Sous la direction de François Lapicque.

Soutenue en 1999

à Vandoeuvre-les-Nancy, INPL .


  • Résumé

    La miniaturisation des circuits imprimés ou d'autres objets de petites dimensions tels que micromoteurs, micro-bobines ou micro-injecteurs, est devenue un critère de production incontournable dans de nombreux secteurs industriels pour le débouché de nombreux biens de consommation courante. Dans ce cadre, cette thèse directement inspirée d'un cas industriel, présente une étude réalisée en trois parties permettant de mieux cerner les phénomènes mis en jeu lors d'un procédé de microélectrodéposition. La première partie est dédiée à l'étude, par voie numérique, des distributions de potentiels et des phénomènes de déposition de cuivre à la surface de micro-structures. Cette étude s'est plus particulièrement concentrée d'une part, sur l'effet des micro-structures sur la distribution de potentiel et d'autre part, sur les conditions opératoires, (écoulement du fluide électrolytique et fraction de courant imposée), qui influencent la distribution de courant à la surface des micro-motifs. La deuxième partie concerne l'étude de la faisabilité d'une maquette agrandie permettant la détermination par voie expérimentale de la densité de courant locale à la surface de la géométrie. Se pose alors la question de conditions de géométrie et de fonctionnement de cette maquette agrandie afin qu'elle puisse être parfaitement représentative du micro-système de départ. Dans ce but, nous avons entrepris une étude adimensionnelle de l'extrapolation au moyen des différents nombres adimensionnels régissant les phénomènes d'écoulement et de transport. Enfin, la troisième partie est consacrée à l'étude expérimentale de la convection naturelle engendrée lors d'un processus d'électrodéposition à la surface d'électrodes longues et fines pouvant représenter des pistes électroniques.


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Informations

  • Détails : 1 vol. (142 p.)
  • Annexes : Bibliogr. (98 réf.)

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