Fiabilisation d'un procède de dépôt de couches minces par voie sol-gel pour des applications d'amplification optique

par Philippe Gastaldo

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Roger Rimet.

Soutenue en 1999

à l'INP GRENOBLE .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    L'essor des telecommunications optiques genere de nouveaux besoins tels que des composants optiques integres. Il existe differentes techniques pour realiser ces composants ; certaines d'entre elles necessitent le depot de couches minces pour obtenir un guidage vertical. C'est pour ces applications que nous avons evalue le potentiel du procede sol-gel. Les structures guidantes sont constituee dans notre cas d'un empilement de couches de silice-phosphore (p 2o 5 sio 2 = bas indice) et de silice-titane (tio 2 sio 2 = haut indice). Chaque partie de la structure doit avoir une epaisseur de plusieurs microns, qu'il est difficile d'obtenir en une seule couche. Nous avons developpe et construit une machine qui permet de deposer automatiquement le nombre de couches necessaire a la realisation de telles structures (environ 50 couches). La fiabilite de cet outil a ete montree, et la qualite de couches que nous deposons a ete quantifiee en terme d'uniformite (epaisseur et indice de refraction), de reproductibilite, de contamination par des poussieres et de temps de realisation pour une structure complete. Les resultats obtenus sont tres satisfaisants en comparaison de ceux obtenus par un depot manuel. L'autre point cle de la fabrication composants optiques concerne le materiau. Pour l'amplification optique, nous avons etudie le comportement terres rares en fonctions de differents parametres tels que la concentration d'aluminium ou les precurseurs choisis. Enfin, nous avons mis en oeuvre un moyen de quantifier la quantite d'agregats presents dans le materiau, ceci semblant etre maintenant la derniere limite pour la realisation de composants performants. Nous avons maintenant un outil fiable et performant pour realiser des multicouches automatiquement, une meilleure comprehension des phenomenes intervenants lors de la formation du materiau offre un point de depart pour l'amelioration des composants amplificateurs.


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  • Détails : 1 vol. (160 p.)
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