Etude des procedes utilisables en vue du recyclage de l'eau ultrapure usee dans une usine de micro-electronique

par CHRISTELE ESTEBAN

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Yves Gonthier.

Soutenue en 1999

à l'Université Savoie Mont Blanc .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    A crolles, l'entreprise st microelectronics utilise des quantites importantes (68 m#3/h) d'eau de ville pour produire de l'eau dite ultrapure, repondant a des criteres de purete tres exigeants. Des raisons economiques et environnementales justifient l'etude du recyclage de cette eau utilisee en rincage, pour enlever les residus de produit chimique de la surface des circuits integres. Nous avons mis en evidence dans ces eaux la presence d'isopropanol constituant le carbone organique total (cot). L'influence negative du cot des eaux de rincage sur le rendement de fabrication des circuits, nous a conduit a tester experimentalement les procedes d'osmose inverse sur des membranes composites, et d'adsorption en colonne sur des polymeres specifiques. Les essais ont d'abord ete menes sur un melange artificiel de qualite constante, cree a base d'eau ultrapure. Apres avoir selectionne la membrane d'osmose inverse et le polymere adsorbant les plus performants, nous avons montre leur validite dans la purification de l'eau contenant de l'isopropanol. Le procede d'adsorption a ete caracterise par une etude de la cinetique en reacteur agite, de la dispersion axiale en colonne, une evaluation de sa capacite d'adsorption en reacteur agite et en dynamique, et une determination de ses parametres influents. Les procedes ont ensuite ete valides en sortie du reseau de recuperation des eaux de rincage usees subissant des fluctuations importantes en cot, puis compares a travers une etude technico-economique. La faisabilite du recyclage de l'eau a compris l'evaluation de la fiabilite de l'instrumentation revelant ainsi un defaut du systeme de mesure du cot, et abouti a la proposition d'un systeme de traitement adapte aux eaux de rincage de l'usine, comprenant les procedes d'adsorption sur charbon actif et sur une resine echangeuses d'ions pyrolisee.

  • Titre traduit

    Study of processes for used ultrapure water recycling in a microelectronics plant


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Informations

  • Détails : 204 P.
  • Annexes : 48 REF.

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