Les contraintes dans les matériaux diélectriques en couches minces : empilements, évolution avec le recuit et l'implantation ionique

par Christine Mahodaux

Thèse de doctorat en Optique - électronique - optronique et système

Sous la direction de Hugues Giovannini.

Soutenue en 1999

à Aix-Marseille 3 .


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  • Résumé

    L'analyse et le controle des contraintes dans les materiaux dielectriques en couches minces constitue un probleme crucial notamment pour les applications optiques. Le dispositif interferometrique mis en place permet d'acceder aux contraintes au travers des deformations mecaniques qu'elles engendrent a l'air ou sous vide. Differents materiaux et differentes methodes de depot sont consideres dans le cas de couches uniques et de multicouches. L'evolution des contraintes avec le recuit ou l'implantation d'ions est plus particulierement etudiee.

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  • Détails : 133 p

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  • Bibliothèque : Université d'Aix-Marseille (Marseille. Saint-Jérôme). Service commun de la documentation. Bibliothèque de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : T 2747/A-B
  • Bibliothèque : Université d'Aix-Marseille (Marseille. Saint-Jérôme). Service commun de la documentation. Bibliothèque de sciences.
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