Défauts locaux absorbants et diffusants - Rôles et évolution dans l'irradiation. Corrélations - Etudes multi-échelles

par Alexandre Gatto

Thèse de doctorat en Optique, électronique, optronique et systèmes

Sous la direction de Pierre Roche.

Soutenue en 1999

à Aix-Marseille 3 .


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  • Résumé

    Un dispositif de cartographies simultanees d'absorption et de diffusion partielle des traitements en couches minces est optimise. Une resolution spatiale laterale micronique (3 m) est atteinte, controlee sur des mires a contraste d'absorption, et le seuil de detectivite est abaisse au dixieme de ppm pour la cartographie en absorption et au centieme de ppm pour la cartographie de diffusion. Une etude par correlation permet de chiffrer les ressemblances entre les cartographies simultanees d'absorption et de diffusion partielle, d'evaluer la repetabilite, de repositionner les echantillons au pixel pres. L'etude des defauts locaux et leur evolution au cours d'irradiations nous amenent a mettre au point une technique de zoom cartographique. En augmentant la resolution spatiale, nous obtenons des cartographies grand champ de taille centimetrique et detaillons a haute resolution une zone precisement choisie de taille micrometrique. Pour des irradiations uv, nous detectons a posteriori les modifications photo induites par une irradiation en dessous du seuil sans endommagement. Sur une zone de dimension equivalente a la tache du faisceau d'irradiation, la distribution d'absorption est uniformement plus faible qu'en dehors de la zone irradiee et decroit avec le logarithme du nombre de coups tires. Les defauts impliques dans ces processus de blanchiment sont suspectes etre de nature metallique et localises vers la proche surface du composant. Pour des irradiations dans l'ir, les caracterisations effectuees, rendues plus difficiles par des problemes de claquage, ne nous permettent pas d'etablir une influence de l'irradiation ir sur la repartition statistique des defauts. Une etude multi-echelle des pertes par absorption et diffusion partielle est menee sur des surfaces variant d'une echelle micrometrique a une echelle centimetrique. Les resultats, valides par une simulation, montrent que les parametres statistiques estimes dans chacune des fenetres varient. Ils sont differents dans l'echelle micrometrique ou les defauts sont resolus de ceux dans l'echelle macroscopique ou nous estimons l'uniformite des pertes. L'etude permet de mettre en evidence comment la presence de defauts locaux peuvent induire des ecarts d'estimation dans des conditions experimentales differentes.

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Informations

  • Détails : 102 p.

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  • Bibliothèque : Université d'Aix-Marseille (Marseille. Saint-Jérôme). Service commun de la documentation. Bibliothèque de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : T 2717/A-B
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