TY  - THES
DP  - 
		http://www.theses.fr/1999AIX22032
TI  - Amélioration de la qualité de l'oxyde tunnel des mémoires EEPROM par nitruration sous N2O en four : influence du procédé de dépôt du siliciure
AU  - Yckache, Karim
A3  - Glachant, Alain
PY  - 1999
SP  - 1 vol. ( 171 f.)
N1  - Thèse de doctorat Sciences des matériaux Aix-Marseille 2 1999
N1  - 1999AIX22032
ER  -