Dispositifs micro-optiques enfouis par adherence moleculaire

par GREGORY PANDRAUD

Thèse de doctorat en Sciences et techniques

Sous la direction de ALAIN MURE RAVAUD.

Soutenue en 1998

à SAINT ETIENNE .

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  • Résumé

    Le present travail apporte la demonstration de l'utilisation de la technologie micro-electronique du wafer direct bonding avec des substrats de verre pour l'enfouissement d'artefacts fonctionnels micro-optiques. Les dispositifs micro-optiques demontres sont des guides d'ondes plans et confines lateralement realises par echange ionique ainsi que des reseaux de diffraction a trous. On montre en particulier que l'association d'un reseau a trous avec un guide d'ondes plan donne une efficacite de couplage assez elevee pour permettre la realisation d'un add/drop filter base sur l'effet de reflexion anormale au moyen d'une technologie de guides d'ondes de nitrure de silicium.

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Informations

  • Détails : 148 p.
  • Annexes : 79 ref.

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  • Bibliothèque : Université Jean Monnet. Service commun de la documentation. Section Sciences.
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