Dispositifs micro-optiques enfouis par adhérence moléculaire

par Grégory Pandraud

Thèse de doctorat en Sciences et techniques

Sous la direction de Alain Mure-Ravaud.

Soutenue en 1998

à Saint-Etienne .

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  • Résumé

    Le présent travail apporte la démonstration de l'utilisation de la technologie micro-électronique du wafer direct bonding avec des substrats de verre pour l'enfouissement d'artefacts fonctionnels micro-optiques. Les dispositifs micro-optiques démontrés sont des guides d'ondes plans et confinés latéralement réalisés par échange ionique ainsi que des réseaux de diffraction à trous. On montre en particulier que l'association d'un réseau à trous avec un guide d'ondes plan donne une efficacité de couplage assez élevée pour permettre la réalisation d'un add/drop filter basé sur l'effet de réflexion anormale au moyen d'une technologie de guides d'ondes de nitrure de silicium


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  • Détails : 1 vol. (148 p.)
  • Annexes : 79 références bibliogr.

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