Comportement mecanique et electrique de films minces a haute temperature : application aux jauges d'extensometrie

par RODOLPHE PY

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Pierre Garoche.

Soutenue en 1998

à PARIS 11, ORSAY .

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  • Résumé

    Les jauges d'extensometrie mesurent les deformations mecaniques. L'objet de cette these porte sur la conception et la realisation de ces instruments de mesure fonctionnant dans une turbine d'avion. Par consequent, ces jauges devront fonctionner a haute temperature (850\c), en presence de forces centrifuges tres importantes. Nous montrons alors qu'une jauge est bien adaptee a ce probleme lorsqu'elle est constituee d'un empilement de films minces deposes par pulverisation cathodique et lorsque son element sensible est compose d'un film de palladium chrome (13% en masse de chrome). Le film de pdcr est alors pulverise dans une decharge radiofrequence magnetron. La derive au cours du temps de sa resistance electrique a 850\c est egale a 0,02%/h. Son tcr est egal a 180 ppm/\c. De plus, nous montrons que sa resistance a l'oxydation a 850\c depend de la microstructure du film. Or, en ajustant la pression d'argon dans le plasma, il est possible de controler cette microstructure et donc la resistance a l'oxydation du film. Nous montrons aussi que la polarisation du substrat modifie la composition chimique des films de pdcr. Le taux de chrome dans le film peut donc etre controle. Une jauge d'extensometrie se doit de mesurer les deformations de facon precise. Rappelons que le facteur de jauge est le rapport de proportionnalite entre la deformation mecanique et la variation de resistance electrique de la jauge soumise a cette deformation. Or, celui-ci depend de la direction de la deformation, d'ou une incertitude importante sur la precision de la mesure. Or, en modifiant la forme geometrique de la jauge, le facteur de jauge peut devenir independant de la direction de la deformation. Une modelisation par elements finis de la distribution

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Informations

  • Détails : 164 p.
  • Annexes : 98 ref.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paris-Sud (Orsay, Essonne). Service Commun de la Documentation. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
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