Matériaux piézoélectriques en couches minces déposés par le procédé pyrosol. Application à trois systèmes modèles : Li2B4O7, Pb(Zr,Ti)O3, LiTaO3

par Véronique Bornand

Thèse de doctorat en Chimie des matériaux

Sous la direction de Etienne Philippot.

Soutenue en 1998

à Montpellier 2 .


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  • Résumé

    Depuis quelques annees, la sophistication des systemes de radiocommunications civiles et militaires a contribue a l'utilisation massive des resonateurs piezoelectriques ainsi qu'a leur miniaturisation. Le developpement de ces micro-resonateurs repond au besoin d'adapter leur dimension a celle de l'electronique et a la necessite de disposer de frequences plus elevees. Pb(zr, ti)o#3 mais surtout li#2b#4o#7 et litao#3 s'imposent comme des materiaux d'avenir en ondes de surface. Leur haut coefficient de couplage, les grandes largeurs de bandes qui les caracterisent et leurs faibles derives de frequence en temperature leur conferent une place de premier ordre dans le domaine du traitement du signal. Le travail presente explore les possibilites d'utilisation du procede pyrosol a l'elaboration de ces materiaux sous forme de couches minces. Cette methode de depot, basee sur la pyrolyse sur un substrat chauffe de fines gouttelettes obtenues par pulverisation ultrasonore d'une solution precurseur, apparait particulierement souple d'utilisation. Toutefois, la definition des conditions de depot optimales a necessite une longue etude prealable pour chacun des materiaux etudies ainsi que la realisation de deux nouveaux reacteurs. Des couches cristallisees et orientees de li#2b#4o#7 et litao#3 ont ainsi pu etre elaborees sur des substrats si(111) pour les premieres et al#2o#3(006) pour les secondes. Ces dernieres presentent, en outre, une forte texturation comme l'a demontree l'etablissement des figures de poles. En ce qui concerne le systeme pb(zr, ti)o#3, les differentes experiences realisees par spectroscopie infra-rouge ont permis de mettre en evidence l'importance de la chimie des entites participant a la formation des depots. La nature du precurseur du plomb joue, notamment, un role essentiel dans l'obtention de la phase desiree en couche mince.

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Informations

  • Détails : 204 p
  • Annexes : Bibliogr.: p 163-169. - Liste des publ. de l'auteur p. 203-204

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  • Bibliothèque : Bibliothèque interuniversitaire. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 98.MON-119
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