Mesures de la distribution de courant dans des cellules d'électrodéposition d'intérêt industriel pour la production de dépôts de cuivre ou d'alliage nickel-cobalt résolus dans l'espace

par Susanne Lina Goldbach

Thèse de doctorat en Génie des procédés

Sous la direction de François Lapicque.

Soutenue en 1998

à Vandoeuvre-les-Nancy, INPL .


  • Résumé

    La déposition de métaux dans des microstructures est d'une grande importance pour la production de micro - objets, tels que des circuits imprimés, des micromoteurs, des microbobines ou des microinjecteurs. Dans ce cadre, cette thèse concerne l'étude de déposition d'un métal, le cuivre, et d'un alliage, le nickel - cobalt, à partir des bains galvaniques industriels sur des micromotifs. L’optimisation des distributions de courant concernant l'uniformité de l'épaisseur et de la composition de l'alliage sur les microstructures réalisées dans des réacteurs industriels a été le but principal de ces travaux. L’accent a été mis sur la densité de courant de déposition en relation avec les conditions d'hydrodynamique. La déposition de cuivre a été étudiée sur des micromotifs constitués de micropistes alignées dotées de parois verticales conductrices. L’alliage de nickel - cobalt a été déposé sur des wafers portant des anneaux de faibles diamètres avec des parois verticales isolantes. La cinétique d'échange électronique et de transfert par diffusion pour les deux types de déposition envisagés ont été étudiées au moyen de différentes techniques : voltamètrie dynamique, spectroscopie d'impédance sur électrode à disque tournant, déposition galvanostatique sur électrode à disque tournant et dans la cellule de Hull à cylindre tournant. Pour la déposition de cuivre, ces résultats ont permis de valider un code de calcul, établis par nos partenaires belges d'un contrat européen, pour la prédiction de la distribution de courant sur des électrodes planes avec et sans micromotifs dans une cellule bidimensionnelle. Les résultats des calculs ont été comparés avec succès aux résultats expérimentaux.

  • Titre traduit

    Measurements of current distribution in electrodeposition cells of industrial relevancy for the production of high resolution deposits of copper or nickel-cobalt alloy


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Informations

  • Détails : 1 vol. (225 p.)
  • Annexes : 165 réf.

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  • Bibliothèque : Université de Lorraine. Direction de la documentation et de l'édition. BU Ingénieurs.
  • Disponible pour le PEB
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