Synthese par mocvd (conventionnelle et a injection), caracterisations structurale et physique de films d'yba#2cu#3o#7## et de multicouches yba#2cu#3o#7#-#/prba#2cu#3o#7##

par VIRGINIE GALINDO

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de JEAN PIERRE SENATEUR.

Soutenue en 1998

à l'INP GRENOBLE .

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  • Résumé

    Deux types de reacteurs de depot chimique en phase vapeur ont ete utilises pour la realisation de films minces d'yba#2cu#3o#7## et prba#2cu#3o#7# ## #, ainsi que de multicouches alternant ces deux composes. La source du premier reacteur est constituee de quatre fours contenant chacun un des precurseurs organometallique (m-tetramethyl-heptane-dionate) sous forme de poudre. La source du second reacteur est constituee d'un reservoir contenant un melange liquide solvant - precurseur, sous pression, a temperature ambiante, relie a une micro-vanne ou injecteur. Cette derniere source permet de controler avec precision la quantite de precurseur injectee vers la zone de depot. Des couches minces de ybco et de pbco ont ete deposees. Dans les deux cas, les films sont epitaxies sur le substrat (srtio#3 ou laalo#3) et presentent les caracteristiques suivantes : pour yba#2cu#3o#7## t#c = 92 k, < 0,5 k et j#c(77k) = 5. 10#6 a/cm#2, pour prba#2cu#3o#7##, (100 k) < 5. Cm. Un lien direct a ete mis en evidence entre la composition des films deposes et la composition de la solution source dans le cas de la cvd a injection. D'un point de vue experimental, cette derniere technologie parait plus adaptee pour la croissance de composes aussi complexes que ybco ou pbco. Des multicouches alternant supraconducteur et isolant, caracterisees par des periodes variant de 50 a 330 a ont ete realisees et caracterisees. Des analyses de diffraction de rayons x (/2, -scan, -scan et reflectometrie) indiquent que les empilements sont reguliers et epitaxies sur le substrat (laalo#3 et srtio#3). Une analyse en spectrometrie d'ions retrodiffuses (rbs) et en microscopie electronique a transmission permet de confirmer la regularite des couches d'ybco et de pbco constitutives de la multicouche. Enfin l'anisotropie des empilements a pu etre determinee par l'analyse du comportement de la resistivite des multicouches sous champ magnetique intense (16 t) inclines.


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  • Détails : 224 P.
  • Annexes : 178 REF.

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