CVD/CVI du pyrocarbone : analyse in situ de la phase gazeuse ; études cinétique et structurale

par Olivier Feron

Thèse de doctorat en Sciences des matériaux

Sous la direction de Francis Langlais.

Soutenue en 1998

à Bordeaux 1 .

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  • Résumé

    Dans le cadre de la determination des mecanismes du depot chimique en phase vapeur des pyrocarbones laminaires, une etude experimentale a ete conduite. Celle-ci comprend (i) l'analyse de la composition de la phase gazeuse (par spectrometrie infrarouge a transformee de fourier in-situ et par spectrometrie de masse), (ii) l'etude cinetique in-situ de la formation du pyrocarbone (microbalance) et (iii) l'analyse de la structure du carbone depose (microscopie optique en lumiere polarisee et microscopie electronique en transmission). Les parametres experimentaux etudies sont la temperature et le temps de sejour, afin de mettre en evidence l'effet de l'avancement des reactions homogenes (maturation) sur la vitesse de depot et sur la structure du carbone. Les experimentations concernent essentiellement le depot (cvd) dans le cas de la pyrolyse du propane. Cependant d'autres systemes gazeux (benzene, methane / tetrachlorure de carbone) ont egalement ete examines et les aspects lies a l'infiltration (cvi) ont ete pris en compte. Les correlations qui s'etablissent notamment entre les etudes cinetique et structurale realisees avec le precurseur propane, ont conduit a la proposition d'un modele qualitatif qui explique les transitions entre regimes cinetiques et entre types microtexturaux par l'existence de deux voies paralleles pour la formation du pyrocarbone laminaire. Ces deux modes de depot impliqueraient deux familles d'especes gazeuses differentes et meneraient a la formation des deux types de pyrocarbone les plus frequemment rencontres en cvi, a savoir les carbones dits laminaire lisse et laminaire rugueux.

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Informations

  • Détails : 116 p

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  • Bibliothèque : Université de Bordeaux. Direction de la Documentation. Bibliothèque Sciences et Techniques.
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  • Cote : FTA 1867
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