Etude et essai d'optimisation des propriétés électroniques de couches minces d'un semi-conducteur dégénéré : ITGO (oxyde d'indium dopé à l'étain et au germanium)

par Corinne Marcel

Thèse de doctorat en Sciences des matériaux. Chimie du solide

Sous la direction de Jean Salardenne.

Soutenue en 1998

à Bordeaux 1 .

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  • Résumé

    Il s'agit d'une etude experimentale visant a optimiser la composition et les conditions de preparation de couches minces conductrices transparentes dans le but d'elargir la fenetre optique vers l'infrarouge. Une revue bibliographique tres documentee et une comparaison sous forme de tableaux et de graphiques des performances des differentes matrices, dopants et procedes d'elaboration conduisent a choisir comme materiau l'oxyde d'indium dope a l'etain et au germanium (itgo). La caracterisation des proprietes electroniques est effectuee par des mesures electriques (conductivite, effet hall), thermoelectriques (effet seebeck), et optiques (transitions inter et intrabandes) permettant de determiner par differentes methodes et de comparer la masse effective, la mobilite, le temps de relaxation, etc. . . En fonction du taux de dopage. Plusieurs resultats sont mis en evidence : i) la contribution, des la temperature ambiante, des phonons optiques en plus des impuretes ionisees, comme mecanisme de diffusion des electrons ii) une variation de la masse effective qui passe par un minimum en fonction du taux de dopage iii) l'apparition aux faibles concentrations de porteurs d'une bande d'absorption due a la presence d'etats localises au-dessous du bas de bande de conduction.

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  • Détails : 169 p

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  • Bibliothèque : Université de Bordeaux. Direction de la Documentation. Bibliothèque Sciences et Techniques.
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  • Cote : FT 98.B-1856
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  • Cote : FTR 98.B-1856
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