Caracterisations morphologiques, structurelles et electriques des couches de diamant cvd

par FREDDY TORREALBA ANZOLA

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Alain Chambaudet.

Soutenue en 1998

à Besançon .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Nous etudions dans cette these les relations existant entre les caracteristiques electriques et les caracteristiques physiques de couches minces de diamant polycristallines, elaborees par depot chimique en phase vapeur assiste par plasma micro-ondes. Ces couches minces sont realisees en vue d'elaborer des detecteurs de rayonnements nucleaires. Nous avons fait varier la concentration de methane dans le plasma, la temperature de depot et l'epaisseur des couches. Nous avons effectue des mesures de la surface des grains par microscopie optique en utilisant un systeme analyseur d'images ; des mesures de la rugosite par microscopies interferentielle et confocale ; une etude des liaisons c-h en surface par spectroscopie infrarouge en reflexion totale attenuee et une etude de la structure cristalline et des textures par diffraction de rayons x. La photoconductivite a quant a elle ete determinee aux hyperfrequences. L'analyse des differentes composantes de la susceptibilite electrique a permis de mesurer le temps de relaxation associe aux chocs des porteurs de charges. Nous trouvons que la concentration en methane dans le plasma degrade la qualite de surface, produit une texture preferentielle 110, et augmente la photoconductivite. D'autre part, le temps de relaxation augmente avec l'epaisseur des films. En revanche, la temperature du substrat n'a que peu d'influence sur la taille moyenne des grains (a epaisseur de couche constante), sur l'etat de surface ou sur la photoconductivite. Nous avons egalement trouve des liaisons c-h en surface des echantillons, meme apres recuit thermique. Nous avons egalement utilise les techniques hyperfrequences pour etudier du diamant dope au bore developpe dans le but d'applications electroniques. Les signaux ont permis de mesurer la susceptibilite dans une plage de frequences suffisante (7 a 12 ghz) pour observer sur une resonance, que nous avons attribuee a des charges piegees au voisinage de la surface.


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 155 P.
  • Annexes : 74 REF.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Bibliothèque universitaire Sciences - Sport (Besançon).
  • Disponible pour le PEB
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.