L'ablation laser pour l'elaboration de depots a structure et composition complexes. Cas des tellurures conducteurs nb#5te#4 et nbte#2

par Hervé Sassoli

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de YVES MATHEY et de WLADIMIR MARINE.

Soutenue en 1998

à Aix Marseille 2 .

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  • Résumé

    Une technique prometteuse dans le monde de l'industrie, l'ablation laser, a ete utilisee afin d'elaborer des films de tellurures de niobium irrealisables par pulverisation cathodique. Pour chaque type de films obtenus, nb#5te#4 et nbte#2, une etude systematique de l'influence des divers parametres d'elaboration (la composition et le type de la cible, la fluence du laser, la temperature du substrat, la pression de travail et la nature du substrat) a ete realisee de facon a determiner avec precision les conditions experimentales permettant une cristallisation optimale des films. Une etude spectroscopique du plasma (spectre d'emission et temps de vol) et une caracterisation des films (composition, structure cristallographique et rugosite de surface) ont ete menees afin de comprendre les differents phenomenes physiques rencontres au cour de ce travail. Ce memoire contient les donnees experimentales ainsi obtenues ; ces derniers nous ont permis de mettre en evidence une correlation entre l'evolution des distances interreticulaires et l'evolution de la composition des films ainsi qu'une correlation entre la variation de la dimension de la zone cristallisee et la variation de la rugosite. Il a ete mis en evidence l'influence de certaines reactions chimiques prennant place dans le plasma sur l'heterogeneite en composition de celui-ci et sur l'heterogeneite des films eux-memes. La facilite avec laquelle la structure cristallographique nb#5te#4 semble pouvoir se modifier afin de s'accommoder de la presence d'atomes excedentaires a egalement ete soulignee. De plus le role joue par la fluence du laser et donc par l'energie cinetique des particules en vol sur la cristallisation des films a ete clairement determine.


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Informations

  • Détails : 144 P.
  • Annexes : 51 REF.

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  • Bibliothèque : Université Aix-Marseille (Marseille. Luminy). Service commun de la documentation. Bibliothèque de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 29459
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