Etude et réalisation d'une micropompe et de microvalves intégrées tout silicium

par Zouhair Sbiaa

Thèse de doctorat en Électronique, microsystèmes

Sous la direction de Henri Camon.

Soutenue en 1997

à Toulouse 3 .

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  • Résumé

    Le domaine du genie biologique et medical est considere, a terme, comme l'un des secteurs privilegies d'application des microsystemes. Notre sujet de these concerne ce secteur d'application, il consiste en la conception et la realisation d'une unite d'analyse chimique comprenant une micropompe actionnee par une resistance thermique dont le role est de permettre l'acheminement d'un fluide vers une chambre multi-capteur d'analyse physico-chimique (pression, isfet, temperature,). Notre travail s'integre dans le cadre du projet europeen barmint (basic research of microsystems integration). Pour supporter l'action de recherche, il prevoit la conception et la realisation d'un demonstrateur complet integrant notamment les composants ci-dessus. L'originalite du procede de realisation que nous proposons est de fabriquer, sur un meme substrat de silicium poli double face, une membrane (micro-usinee grace a une solution chimique) et de deux microvalves a sens unique qui controlent l'entree et la sortie du fluide. Ces valves sont obtenues apres depots lpcvd et gravures par plasma du silicium polycristallin. Nous traiterons en details tous les aspects de conception thermopneumatique ainsi que toutes les etapes technologiques de realisation de la micropompe et des microvalves. Nous nous interessons aussi aux problemes de comptabilite de ces technologies avec les techniques vlsi. Une modelisation thermique et mecanique de la micropompe est proposee et appliquer a l'optimisation du dispositif. Ce travail ouvre des perspectives quant a la conception et la realisation de futurs microsystemes pour des applications spatiales, medicales

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  • Détails : [3]-137 f

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  • Bibliothèque : Moyens Informatiques et Multimédia. Information.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : B-SBI
  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 1997TOU30013
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