Nucleation et croissance de couches diamant elaborees par hfcvd sur cuivre polycristallin et monocristallin (111) etudiees par spectroscopies electroniques : photoemission x (xps), electrons auger (aes), pertes d'energie (eels)

Hfcvd diamond nucleation and growth on polycristalline and monocristalline (111) copper studied by electron spectroscopies : x-ray photoemission (xps), auger (aes), energy loss (eels)

• Auteur / Autrice : LAURENT CONSTANT
• Direction : François Le Normand
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Physique
• Date : Soutenance en 1997
• Etablissement(s) : Strasbourg 1

Résumé

Nous avons synthetise du diamant par le procede de depot chimique en phase gazeuse par filaments chauds (hfcvd) sur du cuivre polycristallin et monocristallin (111). Dans un premier temps, nous utilisons la microscopie electronique a balayage (meb) pour definr les principaux parametres de la nucleation et de la croissance. Ensuite, la croissance du diamant est etudiee par spectroscopie des electrons auger (aes) et spectroscopie de photoemission x (xps), directement connectees a la chambre de synthese. L'analyse des transitions auger c kvv et des intensites relatives du pic c1s nous permet de presenter un modele de nucleation-croissance en trois etapes : d'abord formation de une ou deux couches de graphite orientees, puis croissance tres lente de ces couches de graphite qui se distordent en s'eloignant de la surface du cuivre et enfin nucleation du diamant. La microscopie electronique a transmission (met) et la diffraction en aire selectionnee (sad) confirment ce modele et montrent l'existence de petits agregats de graphite de forme spherique (oignons) ou polyhedrique.