@PHDTHESIS{LIU1997,
url = "
		http://www.theses.fr/1997PA112064",
title = "Lithographie profonde par rayons-x sur rayonnement synchrotron",
author = "LIU, ZEWEN",
year = "1997",
pages = "180 P.",
note = "Thèse de doctorat dirigée par MEGTERT, STEPHAN Sciences appliquées Paris 11 1997",
note = "1997PA112064",
}