Etudes par microcaracterisations des defauts induits dans plusieurs materiaux semiconducteurs par irradiations uv, proche ir et ir

par VALERIE PEROCHEAU

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Serge Lefrant.

Soutenue en 1997

à Nantes .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Le developpement de lasers impulsionnels de haute densite de puissance permet d'envisager de nouvelles applications quant a l'irradiation des materiaux. Ce travail vise a mieux deteminer les defauts morphologiques, structuraux et chimiques induits dans certains semiconducteurs en realisant une caracterisation microscopique. Plusieurs materiaux ont ete analyses : les decompositions du sic par un laser krf (248 nm), de l'aln par un laser xecl (308 nm), les divers endommagements produits sur du znse par un laser a co#2 (10,6 m), du ge et du zns par un laser nd : verre (1,06 m). Les etudes ont ete realisees grace a diverses methodes d'analyse de surface, dont la microscopie electronique a balayage (meb), la spectrometrie de dispersion des photons x (edx) et la spectrometrie des photoelectrons en rayons x (xps). La spectrometrie de diffusion raman a permis de determiner les modifications structurales des materiaux, dont les phenomenes d'amorphisation, de variation de contraintes dans le reseau. Nous avons mis en evidence les parametres specifiques des raies raman (frequence, largeur a mi-hauteur et intensite) qui evoluent avec la fluence d'irradiation et/ou avec la repartition spatiale de l'energie du faisceau laser. Enfin, nous discutons les processus (thermiques, mecaniques, electriques, chimiques,. . . ) mis en jeu au cours de l'irradiation et qui sont a l'origine de ces modifications.


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Informations

  • Détails : 150 P.
  • Annexes : 110 REF.

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  • Bibliothèque : Université de Nantes. Service commun de la documentation. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 97 NANT 2065
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