Réalisation d'un anti-reflet bispectral sur substrat de ZnS hémisphérique en technique P. E. C. V. D. : performances et tenue à la pluvio-érosion

par Nazario Morgado

Thèse de doctorat en Sciences. Sciences des matériaux

Sous la direction de Jean-Marie Mackowski.

Soutenue en 1997

à Lyon 1 .

Le jury était composé de Jean-Marie Mackowski.


  • Résumé

    Ce travail a pour objectif de realiser un traitement anti-reflet sur un substrat de zns par p. E. C. V. D. En geometrie hemispherique. Ce traitement optique, performant dans l'infrarouge, doit avoir une bonne resistance en tenue aux tests de pluvio-erosion. Ce traitement est constitue d'un empilement de carbure de germanium, a-gec:h, de differents indices avec une couche de protection de carbone adamantin a-c:h. Dans un premier temps, une etude des conditions de depot nous a permis d'obtenir des couches d'indices variables en fonction des ratio des gaz porteurs, methane et germane. La technique c. V. D. Plasma s'est imposee pour le traitement d'une forme hemispherique avec etude de la geometrie de l'enceinte et des electrodes, ce qui nous a permis d'obtenir une disparite en epaisseur sur l'ensemble de la calotte hemispherique inferieure a 2%. Une caracterisation optique et mecanique, en nanoindentation et pluvio-erosion, nous a permis d'atteindre certaines performances de tenue en pluvio-erosion. Les premiers tests de pluvio-erosion ont mis en evidence un probleme d'adherence des couches de carbure de germanium haut indice sur les substrats de zns. Une analyse de l'interface substrat/couche mince nous a permis de reveler l'attaque des joints de grain du zns par l'element hydrogene contenu dans les differents gaz porteurs et gaz de dilution utilise lors des depots. Par une etude approfondie de la technique de la nanoindentation, nous avons determine deux parametres primordiaux lors de la tenue a la pluvio-erosion : la nanodurete et le module d'elasticite de young des couches minces realisees.


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Informations

  • Détails : 1 vol. (pagination multiple 190-[8] p.)
  • Annexes : Bibliogr. pagination multiple [10] p.

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