Etude et réalisation de couches minces de nitrure de bore par dépôt ionique réactif

par Stéphane Malhouitre

Thèse de doctorat en Sciences des matériaux céramiques et traitements de surface

Sous la direction de Jean Machet.


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  • Résumé

    L'etude et la realisation de couches minces de nitrure de bore par depot ionique reactif a fait l'objet de ce travail. L'objectif principal a ete d'obtenir des depots de nitrure de bore cubique ayant une composition proche de la stchiometrie. Pour dissocier et ioniser les molecules d'azote, divers modes d'activation du gaz ont ete employes lors de la synthese des films. Tout d'abord, un plasma radiofrequence seul a ete utilise, puis il a ete assiste d'un dispositif d'intensification de la decharge. Le second mode d'activation a consiste en une source portee a haute temperature sur laquelle est dirige l'azote. Enfin, un plasma microonde a ete employe. Les resultats obtenus montrent que la composition et la structure des couches deposees sont etroitement liees. Les depots qui presentent des liaisons sp#3 possedent un rapport atomique n/b faible (n/b 0,1) et ne sont pas cristallises. Ces couches sont en fait composees de nitrure de bore sous forme de liaisons sp#2 et sp#3, ainsi que du bore non lie a l'azote. Les depots qui presentent une composition plus riche en azote ont une structure de type h-bn et possedent une excellente transmission optique dans le visible.

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Informations

  • Détails : 162 p

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université de Limoges (Section Sciences et Techniques). Service Commun de la documentation.
  • Disponible pour le PEB
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