Thèse soutenue

Elaboration par MOCVD à injection, caractérisations structurale et physique de films d'oxydes magnétiques : hexaferrite BaFe12O19 et pérovskite à magnétorésistance géante La(1-x)MnO(3-delta)
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Auteur / Autrice : Stéphane Pignard
Direction : Henri Vincent
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Sciences et structure des matériaux
Date : Soutenance en 1997
Etablissement(s) : Grenoble INPG

Résumé

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Un des problemes majeurs des procedes cvd reside dans le controle precis de la pression de vapeur des precurseurs, lorsque ceux-ci sont liquides ou solides. Un nouveau procede, brevete dans notre laboratoire, permet de resoudre ce probleme : il s'agit du procede cvd a injection. Son principe est base sur l'injection controlee de micro-quantites d'une solution contenant les precurseurs. Le premier objectif de ce travail a ete la construction et la mise au point d'une nouvelle enceinte d'elaboration de couches minces par voie cvd basee sur ce principe. Dans l'effort d'augmentation de la densite de stockage sur milieu magnetique, l'enregistrement perpendiculaire suscite depuis de nombreuses annees un interet de tout premier plan. L'hexaferrite de baryum bafe#1#2o#1#9 presente des caracteristiques interessantes pour cette application : les films doivent etre textures et convenablement dopes pour reduire le champ d'anisotropie. Jusqu'alors seules des techniques physiques de depot ont ete utilisees pour la synthese de telles couches. Nous avons etudie la possibilite d'elaborer des films de bafe#1#2o#1#9 par voie chimique au moyen du procede cvd a injection. Concernant la lecture des informations stockees, l'accroissement de la densite de stockage necessite l'utilisation de nouvelles tetes de lecture : dans ce domaine, les tetes magnetoresistives sont les plus prometteuses. Les recherches se sont recemment intensifiees avec la decouverte de la magnetoresistance colossale des composes la#1#-#xa#xmno#3#-# (a=sr,ca,ba). Nous nous sommes interesses aux manganites de lanthane lacunaires la#1#-#xmno#3#-#, deposes sous forme de couches minces par cvd a injection, dont les proprietes ont ete peu etudiees jusqu'a ce jour. Nous montrons que la technique de depot mise au point peut etre tres performante pour l'elaboration de tels films. Les proprietes structurales et physiques des couches la#1#-#xmno#3#-# sont etudiees : une magnetoresistance de 20%/tesla est obtenue a temperature ambiante