Elaboration de couches minces de (ti, al)n par omcvd : etude thermodynamique et experimentale

par SANDRA GILLES

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Roland Madar.

Soutenue en 1997

à l'INP GRENOBLE .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Les couches minces de (ti, al)n font l'objet d'attentions particulieres a cause de l'amelioration significative de la resistance a l'oxydation qu'elles presentent par rapport aux revetements durs de tin. Nous avons teste l'utilisation de precurseurs organo-metalliques pour synthetiser des films de (ti, al)n a des temperatures inferieures a 400 c par la technique de depot chimique en phase vapeur omcvd. Les precurseurs choisis sont le tetradimethylamide de titane (tdmat), l'hexadimethylamide de dialuminium (hdmada) et le tri-isobutyl aluminium (tiba). Compte tenu des donnees thermodynamiques disponibles, nous avons pu, a l'aide d'un programme de simulations thermodynamiques, determiner certaines plages de parametres favorables au depot de phases pures de nitrures de titane - aluminium. Les diagrammes d'equilibre de phases stables et metastables du systeme ternaire ti-al-n ont ete etablis entre 200 et 1600 c. L'etude experimentale des depots des phases binaires tin et ain nous a permis d'optimiser les parametres et de voir leur influence sur la contamination des films. En fonction de ces resultats les depots de (ti,al)n ont ete realises a l'aide de deux melanges reactionnels : - tetradimethylamide de titane + hexadimethylamide de dialuminium + ammoniac - tetradimethylamide de titane + tri-isobutyl aluminium + ammoniac le premier melange reactionnel nous a permis de deposer a basse temperature (400 c) a une pression de 25 mbar, des films de (ti,al)n ; de structure cubique, ces films sont composes de grains de taille nanometrique. Le parametre le plus interessant pour faire varier le rapport al/ti est le debit d'ammoniac. Le deuxieme melange reactionnel semble pratique pour deposer des multicouches tin/aln.


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 163 P.
  • Annexes : 153 REF.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible pour le PEB
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.