Contribution a l'etude de la formation du carbure de molybdene sur le diamant

par EMMANUELLE LUCAZEAU

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Alain Deneuville.

Soutenue en 1997

à Grenoble INPG .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    En vue de la realisation de contacts electriques ohmiques sur le diamant compatibles avec les proprietes physiques et chimiques uniques du diamant et qui soient capables de resister aux operations prolongees dans les environnements hostiles pour lesquels ces dispositifs sont destines, nous avons etudie la formation du carbure de molybdene sur le diamant par reaction en phase solide. Ce travail s'articule autour de l'etude de la formation du carbure de molybdene sur les diamants intrinseques ou dopes polycristallins et monocristallins homoepitaxies elabores au laboratoire par pulverisation catholique magnetron de molybdene sur la surface du diamant suivie de recuits sous atmosphere d'argon. La formation du carbure est suivie par diffraction des rayons x, par analyse par retrodiffusion de rutherford ou rbs, ou par spectroscopie de photo-electrons induits par rayons x ou xps. Nous avons mis au point une procedure d'elaboration du carbure de molybdene hexagonal -mo#2c sur le diamant polycristallin conduisant a la formation d'un contact ohmique stable a haute temperature. Sur les films monocristallins homoepitaxies, la formation du -mo#2c se trouve ralentie par une incorporation importante d'oxygene dans la couche metallique durant le depot. La presence de bore ralentit la formation du carbure et sa cristallisation.

  • Titre traduit

    Contribution of the study of molybdenum carbide formation diamond


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Informations

  • Détails : 241 P.
  • Annexes : 141 REF.

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