Etude et mise au point de la methodologie de conception et de fabrication collective de microsystemes sur silicium

par JEAN-MARC PARET

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de BERUARD COURTOIS.

Soutenue en 1997

à l'INP GRENOBLE .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    La notion de microsysteme est nee avec la microelectronique, mais n'a jamais connu le meme essor. Les raisons de cette difference de developpement sont nombreuses : multiplicite des domaines a maitriser, complexite des circuits de traitement du signal necessaires, et surtout manque de procedes de fabrication standards. Jusqu'a nos jours, pour presque chaque circuit microsysteme concu puis realise, un procede de fabrication specifique a du etre developpe en laboratoire. En outre, en raison du manque de marche apparent pour ce type de composant, rares sont les applications qui ont pu etre industrialisees, les investissements necessaires etant trop importants. Les microsystemes sont donc, depuis leur naissance, restes des sujets de recherche en laboratoires, et n'ont pu connaitre de phase d'industrialisation. Le but de mon travail de recherche a ete l'utilisation des capacites et des competences offertes par l'industrie de la microelectronique (technologies de fabrication, outils et methodes de conception, de simulation et de test), pour concevoir et realiser des circuits microsystemes monolithiques. Grace au procede de gravure anisotropique du silicium monocristallin, il est possible d'obtenir des elements suspendus sur des micro-cavites a partir de puces fabriquees avec des technologies vlsi. Ces elements peuvent etre utilises pour realiser des fonctions micro-electro-mecaniques. Ce procede de gravure a ete etudie et caracterise, et des regles de dessin pour la conception et la fabrication de structures suspendues ont ete etablies. Un environnement de conception assistee par ordinateur, base sur le logiciel cadence, a de plus ete developpe, afin de rendre ce procede de fabrication accessible a tous les concepteurs.


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Informations

  • Détails : 237 P.
  • Annexes : 204 REF.

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