Optimisation de la structure et de la microstructure en domaines ferroelectriques de couches minces dans une structure metal/ferroelectrique/metal. Cas du pzt obtenu par un procede sol-gel

par JEROME HECTOR

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de NICOLE FLOQUET.

Soutenue en 1997

à Dijon .

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  • Résumé

    Les couches minces ferroelectriques de titano-zirconate de plomb pbzr#1#-#xti#xo#3, ceramique de structure perovskite quadratique, utilisees dans une structure de type metal-isolant-metal (mim), entrent dans la realisation d'un grand nombre d'applications : memoires ferroelectriques, capteurs et actionneurs piezo-electriques, detecteurs pyroelectriques. L'objectif de ce travail se repartit en deux points : -un cote technologique permettant la maitrise des differentes etapes de l'elaboration des structures mim et la mesure de leurs proprietes electriques. Il s'est agi principalement de mettre au point une methode de depot sol-gel et une technologie permettant l'elaboration de couches minces de pzt d'epaisseurs controlees sur de grandes surfaces. -un cote comprehensif dont le but est de comprendre les relations physico-chimiques entre les differentes parties de la structure mim (substrat, electrode, couche de pzt) et la nature de la structure et de la microstructure des couches minces de pzt, leur genese par modifications de plusieurs parametres, de mettre en evidence les differences structurales et electriques existantes entre une ceramique massive et une couche mince de composition chimique identique, mais non libre car deposee sur un substrat et de structure bidimensionnelle. La comprehension de ces modifications structurales est ensuite mise en relation avec les resultats electriques en vue de l'amelioration de leur proprietes. La realisation de ce travail nous permet de definir pour une application particuliere necessitant des proprietes electriques optimales, la structure et la microstructure de la couche mince et donc de choisir les parametres d'elaboration de l'empilement mim.


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Informations

  • Détails : 274 P.
  • Annexes : 148 REF.

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  • Bibliothèque : Université de Bourgogne. Service commun de la documentation. Section Sciences.
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