TY - THES DP - http://www.theses.fr/1997CAEN2070 TI - Gravure par voie seche des alliages d'aluminium et etudes des problemes associes lors de la realisation des interconnexions dans des procedes bicmos haute frequence AU - CHARRAT, BRUNO A3 - Raveau, Bernard PY - 1997 SP - 167 P. N1 - Thèse de doctorat Sciences appliquées Caen 1997 N1 - 1997CAEN2070 ER -