Utilisation des techniques d'optique guidée pour les mesures d'indice et d'épaisseur de couches minces uniques ou prises dans un empilement

par Josep M Massaneda-Clares

Thèse de doctorat en Optique. Composants électroniques et optoélectroniques

Sous la direction de François Flory.

Soutenue en 1997

à Aix-Marseille 3 .


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  • Résumé

    On developpe un appareillage pour mesurer avec la meilleure precision les angles de couplage de la lumiere dans une structure guidante. La comparaison des resultats experimentaux avec ceux donnes par la theorie de la propagation des modes permet de determiner les constantes optiques du guide et nous decrivons la technique de calcul mise au point pour resoudre ce probleme. On exploite cette methode de caracterisation pour etudier des couches d'oxyde de tantale produites par les techniques de l'evaporation assistee par faisceau d'ions (iad) et de l'evaporation assistee par plasma (ip). On atteint une precision de l'ordre du millieme sur les mesures d'indice et du nanometre sur l'epaisseur, ce qui nous permet d'etudier la repetabilite de production des couches. La sensibilite des mesures est suffisante pour montrer une birefringence d'indice entre les polarisations te et tm dans ces couches. Lorsque la structure guidante est un empilement de couches et non une couche isolee, il est beaucoup plus difficile de determiner les caracteristiques du guide sans ambiguite. On arrive neanmoins a une precision du millieme sur les couches d'indice eleve mais la limite de l'accord entre l'experience et le calcul amene des incertitudes de plusieurs milliemes sur les couches de bas indice. La precision est essentiellement limitee par le fait que les couches n'ont pas un comportement strictement conforme a celui qu'on leur attribue dans les calculs avec le modele de la couche parfaite. On cherche les moyens de perfectionner la caracterisation en tenant compte de la distribution de chacun des modes dans la structure.

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  • Détails : 139 p

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  • Bibliothèque : Université d'Aix-Marseille (Marseille. Saint-Jérôme). Service commun de la documentation. Bibliothèque de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Bibliothèque : Université d'Aix-Marseille (Marseille. Saint-Jérôme). Service commun de la documentation. Bibliothèque de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : T 2520/A-B
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