TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/1996TOU30131
TI  - Etude de couches barrières à la diffusion de l'oxygène élaborées par plasma basse fréquence d'organosiliciés
AU  - Agres, Laurent
A3  - Ségui, Yvan
PY  - 1996
SP  - [9]-182 p
N1  - Thèse de doctorat Électronique Toulouse 3 1996
N1  - 1996TOU30131
ER  -