Etude de composés organométalliques du titane précurseurs de carbures, nitrures et siliciures par dépôt chimique en phase vapeur

par Benoit Chansou

Thèse de doctorat en Chimie moléculaire et Matér.

Sous la direction de Lydie Valade.

Soutenue en 1996

à Toulouse 3 .


  • Résumé

    Le recouvrement de pieces massives par des films minces ceramiques permet d'ajouter des proprietes de surface (mecanique, electronique, optique,) aux proprietes de volume inherentes a la piece. Parmi les nombreuses techniques permettant la realisation des films ceramiques, l'o. M. C. V. D. (depot chimique en phase vapeur a partir de composes organometalliques) possede le double avantage de permettre des depots a basse temperature et sur des pieces de formes complexes. Ce memoire rend compte de la synthese et de l'etude de composes organometalliques precurseurs potentiels de carbures, nitrures et siliciures de titane. L'etude du comportement thermique des composes synthetises, effectuee par analyse thermique gravimetrique et analyse thermique differentielle, couplees a de la spectrometrie de masse, permet d'etudier le transport des composes en phase gazeuse et la correlation entre les produits issus de leur decomposition et les ceramiques desirees. Ces etudes sont mises a profit lors de la realisation des depots par c. V. D. En permettant un choix judicieux des parametres experimentaux. Les techniques d'analyse de surface habituelles (m. E. B. , e. D. S. , e. P. M. A. , x. P. S. , r. X. ) sont utilisees pour la caracterisation des depots

  • Titre traduit

    Study of titanium organometallic compounds precursor to carbides, nitrides and silicides by chemical vapor deposition


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  • Détails : 149 p

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  • Cote : 1996TOU30072

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