Revêtements céramiques amorphes de type "SiCN" élaborés par dépôt chimique en phase gazeuse à partir de TMS + NH3 + H2

par A Bendeddouche

Thèse de doctorat en Sciences de l'ingénieur

Sous la direction de ROGER HILLEL.

Soutenue en 1996

à Perpignan .


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  • Résumé

    Ce travail concerne l'elaboration par cvd thermique de revetements epais et amorphes sicxny obtenus a partir du systeme de precurseurs tms-nh3-h2 dans un large domaine de composition. La maitrise du procede d'elaboration a ete menee en utilisant la methodologie du plan d'experiences. Ces materiaux presentent une structure complexe qui evolue en fonction de la composition, faisant intervenir, des arrangements atomiques complexes autour du silicium connectes par des enchainements carbones sp#2-sp#3. Ce constat structural a necessite l'utilisation de diverses techniques d'analyse et de caracterisation (epma-wds, rbs, xps, raman, infrarouge en reflexion et en absorption, tem, exelfs et rmn du si-29) et a ete corrobore par l'etude de l'evolution en fonction de la composition de certaines proprietes remarquables de cette ceramique, a savoir, la durete et la rigidite determinees par nanoindentation et la conductivite electrique en courant alternatif.

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  • Bibliothèque : Université Perpignan Via Domitia. Service commun de la documentation. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH 1996 BEN
  • Bibliothèque : Université Perpignan Via Domitia. Service commun de la documentation. Section Sciences.
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