Nouvelles sources ponctuelles d'ions reactifs

par RAINER SAILER

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de C. COLLIEX.

Soutenue en 1996

à Paris 11 .

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  • Résumé

    Ce memoire decrit la mise en uvre et la caracterisation de sources d'ions ponctuelles originales, destinees aux systemes a faisceaux d'ions focalises (fib). Ces sources font appel a des melanges de composes ioniques liquides, en particulier a des melanges de sels fondus. L'emission ionique a lieu a l'apex d'une pointe liquide, soutenue par un champ electrique. C'est pourquoi, par analogie avec les sources a metal liquide (lmis), l'appellation sources d'ions a composes ioniques liquides (licis) est proposee. Grace a une technologie innovante, une stabilite d'emission et des caracteristiques optiques qui satisfont aux exigences d'une colonne fib ont ete obtenues. Une etude de la distribution energetique et de la densite de courant angulaire a mis en evidence des proprietes tout a fait comparables aux lmis (une largeur energetique inferieure a 7 ev, et des densites de courant de l'ordre 10 a/sr). Les licis, fonctionnant a des tensions d'extraction comprises entre 2,5 kv et 3,5 kv, produisent une large gamme d'especes d'ions positifs et negatifs. Une serie de telles sources a ete caracterisee par spectrometrie de masse. Ces experiences ont revele une presence abondante d'ions reactifs mono-atomiques, tels que les alcalins et les halogenes, ainsi que des spectres riches en ions moleculaires. L'un des resultats majeurs de ce travail est la focalisation fine des ions cl-, no3-, o- ainsi que toute une serie d'autres especes negatives, ce qui n'avait pas ete fait auparavant. Ce memoire montre l'interet de ces systemes, tant au plan des processus physiques mis en jeu qu'au niveau des applications (microfabrication pour gravure fib, implantation ionique locale, micro-analyse (sim, sims, rbs), preparation d'echantillons pour sem, tem, ou analyse auger)


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Informations

  • Détails : 199 P.
  • Annexes : 126 REF.

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  • Bibliothèque : Université Paris-Sud (Orsay, Essonne). Service Commun de la Documentation. Section Sciences.
  • Accessible pour le PEB
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH2014-013007
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