Conception et etude d'un reacteur micro-onde pour le traitement ou le depot de grandes surfaces

par STEPHANE BECHU

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de P. LEPRINCE.

Soutenue en 1996

à Paris 11 .

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  • Résumé

    Cette these presente l'etude d'un reacteur de depot, ou de traitement, sur de grandes surfaces dont la source d'especes actives est un plasma micro-ondes (2,45 ghz) de grand diametre (120 mm). Afin d'etudier l'homogeneite du plasma, il a ete essentiel d'effectuer des mesures locales de densites electroniques et d'intensite lumineuse sur le plasma. Le chapitre i resume les concepts de ce type de plasma. Le chapitre ii presente les techniques de sondes mises au point pour notre plasma h. F. De forte densite electronique (10#1#1 cm#-#3). Le chapitre iii decrit la methode numerique iterative employee pour mesurer l'emissivite radiale locale d'apres des mesures optiques integrees. Le dernier chapitre detaille la conception du reacteur et presente un bilan des mesures realisees dans l'argon et l'oxygene, pour differentes pressions, entre 6 mtorr et 1torr, et puissances, de 100 a 1500 w. Les mesures de spectroscopie integrees font apparaitre une puissance seuil, fonction de la pression et de la nature du gaz, pour assurer l'etablissement du mode principal de propagation a symetrie azimutale hexapolaire tm#3#0*. Les mesures de sondes effectuees dans la decharge et en post-decharge, sur trois demi cercles ont demontre l'homogeneite azimutale de la densite et de la temperature des particules chargees sur une section. Une pression permettant d'atteindre une densite maximale, 1,2 10#1#2 cm#-#3 a 300 w dans l'argon, a ete observee. Les mesures d'emissivite radiale font apparaitre les differents regimes de fonctionnements du reacteur selon la pression et la nature du gaz (diffusion ambipolaire ou recombinaison en volume). Toutes ces mesures, associes a l'actinometrie, montrent que la diffusion suffit pour homogeneiser les distributions d'especes chargees et d'oxygene atomique, resultats prometteur pour les applications depots


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Informations

  • Détails : 253 P.
  • Annexes : 77 REF.

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  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH2014-012927
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