Depot d'oxydes et de nitrures de silicium par double plasma microonde et radiofrequence : etude du plasma et des proprietes optiques et structurelles des couches deposees

par ROXANA ETEMADI

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de C. GODET.

Soutenue en 1996

à Paris 11 .

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  • Résumé

    Cette etude vise a une meilleure comprehension des decharges microonde (creees par ondes de surface) et radiofrequence, utilisees pour les depots a basse temperature de couches minces dielectriques. Elle permet de valider le concept de reacteur a double plasma pour les depots d'oxydes et de nitrures de silicium. Elle comporte deux aspects differents faisant appel a la physico-chimie des plasmas et a la science des materiaux. Une premiere partie est consacree a l'etude des plasmas (microonde et/ou radiofrequence) d'ar, d'o#2, d'ar-o#2 et d'ar-he-o#2 a deux positions differentes de la decharge. L'interferometrie microonde et la spectroscopie d'emission optique (techniques d'autoabsorption et d'actinometrie) sont utilisees pour determiner respectivement la densite electronique, la densite des metastables d'argon et la densite d'oxygenes atomiques. Une deuxieme partie est consacree d'une part a l'etude des conditions de depot, d'autre part a l'analyse des proprietes optiques, chimiques et structurelles des films deposes. Nous avons etudie l'influence de differents parametres comme la temperature de depot, la puissance microonde, les differents debits de gaz ou les differentes dilutions, ainsi que les effets de couplage des deux plasmas. Les couches minces deposees ont ete analysees par ellipsometrie uv-visible in situ, transmission infrarouge, mesures nucleaires (erda, rbs), edx et absorption dans l'uv lointain. Nous avons mis en evidence le role du bombardement ionique et le fait qu'il est possible de reduire la quantite d'hydrogene (sous forme de groupement o-h) contenu dans les films en les exposant a une illumination uv


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Informations

  • Détails : 266 P.
  • Annexes : 170 REF.

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  • Bibliothèque : Université Paris-Sud (Orsay, Essonne). Service Commun de la Documentation. Section Sciences.
  • Accessible pour le PEB
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH2014-012691
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