Modelisation et etude de composants pour l'optique integree silicium sur isolant (simox) a la longueur d'onde de 1,3 micron

par REGIS OROBTCHOUK

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de A. KOSTER.

Soutenue en 1996

à Paris 11 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Cette these porte sur l'etude de composants elementaires d'optique integree sur substrats standards de simox, en vue de la realisation de matrices de modulateurs spatiaux de lumiere pour les telecommunications optiques. Les guides d'ondes plans constitues par le film de silicium superficiel du simox sont des guides d'ondes a fuites dont les pertes ont ete calculees. Des simulations numeriques ont ete developpees pour modeliser les guides d'ondes a confinement lateral et les miroirs integres. Pour ces derniers, une methode originale permet de prendre en compte le caractere guide de l'onde jusqu'au miroir et d'estimer les pertes dues aux imperfections liees a leur realisation (position, inclinaison et rugosite de la facette miroir). Pour les coupleurs a reseaux de diffraction, la methode de calcul dite differentielle a ete etendue au cas d'un reseau de forme quelconque enterre dans un empilement de couches dielectriques et utilisee pour traiter le couplage d'un faisceau incident gaussien avec un mode guide. Une technologie de fabrication de reseaux localises a ete mise au point et utilisee pour la realisation de dispositifs de test permettant la mesure des pertes des guides d'ondes simox. Le developpement de systemes plus complexes d'optique integree sur simox implique que les differents composants elementaires puissent etre realises au cours des memes etapes technologiques. Les outils de simulation developpes ont ete utilises pour la conception et l'optimisation des differents types de dispositifs etudies (coupleurs a reseaux, guides 2d, miroirs), compte tenu des fortes contraintes technologiques


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Informations

  • Détails : 238 P.
  • Annexes : 85 REF.

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  • Accessible pour le PEB
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH2014-012617
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