Etude de la croissance de films minces obtenus par oxydation et nitruration thermiques du silicium poreux : influence sur la morphologie, les defauts et la photoluminescence

par VALERIE MORAZZANI

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Serge Rigo.

Soutenue en 1996

à Paris 7 .

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  • Résumé

    Ce memoire presente une etude experimentale detaillee de l'oxydation et de la nitruration thermique sous oxygene sec ainsi que de la nitruration sous ammoniac a haute temperature de couches de silicium poreux, prealablement oxydees a basse temperature. Ces travaux ont ete realises dans le but technologique d'ameliorer les rendements de luminescence. D'un point de vue fondamental, ils servent aussi pour tester la validite des modeles proposes reliant la position des spectres de luminescence avec la taille des critallites. Par ailleurs, la tres grande surface interne developpee dans ces couches a permis d'etudier avec une grande sensibilite des couches de silice et d'oxynitrure tres minces, d'epaisseur inferieure a 5 nanometres, et de determiner leur composition, la nature des liaisons chimiques d'interface, ainsi que les defauts d'interface et de volume contenus dans ces structures


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Informations

  • Détails : 185 P.
  • Annexes : 150 REF.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paris Diderot - Paris 7. Service commun de la documentation. Bibliothèque Universitaire des Grands Moulins.
  • PEB soumis à condition
  • Cote : TS (1996) 101
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